금속산화물 포토레지스트(MOR)의 EUV 흡수 특성과 기존 유기계 PR의 차이
반도체 미세화의 숨은 주역 포토레지스트의 세계 우리가 매일 사용하는 스마트폰 컴퓨터 그리고 다양한 첨단 전자기기 속에는 눈에 보이지 않을 정도로 수많은 회로가 그려진 반도체가 들어…
카테고리
반도체
전체 10개의 글
화학증폭형 포토레지스트(CAR)의 산 확산 메커니즘과 LER 발생 원인
반도체를 작게 만드는 비밀 화학증폭형 포토레지스트 이해하기 스마트폰 화면을 볼 때마다 우리는 경탄을 자아내게 됩니다. 손바닥만 한 기기 안에 수십억 개가 넘는 트랜지스터가 들어가기…
High-NA EUV 공정에서 초박막 포토레지스트의 두께와 패턴 형성 특성 분석
반도체 미세화의 최전선 초박막 포토레지스트 이해하기 스마트폰을 비롯한 첨단 전자기기가 점점 더 작아지면서도 강력한 성능을 내는 비결은 바로 반도체 회로의 선폭을 줄이는 미세 공정 …
EUV 리소그래피에서 확률적 결함(Stochastic Defect)이 발생하는 물리적 메커니즘
반도체 미세화의 보이지 않는 적 극초자외선 공정의 확률적 결함 우리가 일상에서 사용하는 스마트폰이나 컴퓨터의 성능이 날이 갈수록 눈부시게 발전하는 원동력은 바로 반도체 칩 내부의 …
고종횡비 구조에서 ALD 전구체 확산과 박막 피복성(Conformality)의 관계
나노 세상의 좁고 깊은 미로를 완성하는 기술 스마트폰을 손에 쥐고 고성능 게임을 즐기거나 컴퓨터로 복잡한 작업을 할 때 우리는 수십억 개의 미세한 회로가 담긴 반도체 칩의 은혜를 …
CVD 공정에서 전구체의 열분해 반응과 박막 성장 균일도의 상관관계
첨단 반도체 제조의 숨은 공신 화학 기상 증착의 세계 스마트폰으로 고화질 영상을 시청하고 인공지능과 원활하게 소통할 수 있는 이유는 기기 내부의 반도체 성능이 눈부시게 발전했기 때…
선택적 원자층 증착(AS-ALD)에서 표면 억제제의 흡착 메커니즘
반도체 미세화의 숨은 주역 선택적 원자층 증착의 이해 우리가 매일 사용하는 스마트폰과 컴퓨터가 점점 더 작아지면서도 강력한 성능을 내는 비결은 무엇일까요. 그 핵심에는 눈에 보이지…
열 ALD와 플라즈마 강화 ALD(PEALD)의 반응 경로 및 박막 특성 비교
반도체 기술의 핵심 원자층 증착법 이해하기 스마트폰부터 컴퓨터 그리고 각종 스마트 가전제품까지 우리 일상에서 떼어놓을 수 없는 전자기기들의 중심에는 반도체가 있습니다. 반도체 제조…
ALD 공정의 자기제한적 표면반응 메커니즘과 성장률 포화 조건
ALD 공정의 기초와 반도체 제조의 혁신 현대 사회에서 우리가 사용하는 스마트폰 컴퓨터 자동차 등 모든 전자기기에는 반도체가 핵심 부품으로 들어가 있습니다. 반도체 기술이 발전하면…